著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 安武 正敏,走査型プローブ顕微鏡を用いたナノメーターオーダの計測,計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers,04534662,東京 : 計測自動制御学会 ; 1962-,1999-12,38,12,769-775,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360157036800,