Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
植田 敏嗣,水晶のエッチング形状の予測法とそのデバイスへの応用,計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers,04534654,東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-,1987-12,23,12,p1233-1238,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360181683968,