著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鳳 紘一郎,シンクロトロン放射光リソグラフィー,応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,1984-01,53,1,p17-25,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360197427200,