著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中村 圭二 and 菅井 秀郎,3. 誘導結合プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 III,プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research,09187928,名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会,1998-02,74,2,155-159,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360197715584,