Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) ,最近の膜厚モニター技術(技術ノート),応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,1979-12,48,12,p1173-1176,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360207240704,