著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 柳沢 寛,CVD膜の粗密性と吸湿性の定量的検討,応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,1974-04,43,4,330-334,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360208525824,