著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
柴田 明 and 北 一麻呂 and 沖村 邦雄,(電子材料)TiO2膜成長に与えるSi表面プラズマクリーニング効果,"電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2",09151907,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ,1999-09,82,9,493-497,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360220794368,