著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 真島 豊 and 小山 裕 and 岩本 光正,走査形振動プローブを用いたSiキャリア濃度の定量評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,1999-06-24,99,137,21-26,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360224036864,