著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Sunil Wickramanayaka and Ken Kitamura and Yoichiro Nakanishi,Variation of Stress and Hardness of a-Sic:H Films with Film Composition,静岡大学電子工学研究所研究報告,02863383,浜松 : 静岡大学電子工学研究所,1995,30,2,119-122,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360224856960,