著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
木下 博雄,超精密軟X線光学系の開発と応用--EUVリソグラフィー,レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌,03870200,吹田 : レーザー学会,1999-01,27,1,20-24,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360231511936,