Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
辻村 学,CMP装置の現状と展望,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,1997-04,41,4,120-123,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360241049856,