著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
W.S.N. Trimmer,ミクロの機械システム--極微の機械部品とシステムをSi微細加工技術で作る,日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation,03851680,東京 : 日経BP,1987-12-14,,436,p209-221,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360244301056,