著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
伊藤 尚己 and 加藤 聖隆 and 加藤 勇,RFバイアス印加マイクロ波プラズマCVDによるSiN薄膜の作成,"電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2",09151907,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ,1991-01,74,1,p21-25,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360244636800,