著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 竹野 史郎 and 中村 新一 and 阿部 和秀,半導体デバイス開発におけるTEMの活用--高誘電体膜の場合,電子顕微鏡,04170326,東京 : 日本顕微鏡学会,1999-11,34,Suppl.2,249-252,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360256724864,