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清水 秀己,メタンーモノシラン混合ガス系におけるACプラズマの発光分光分析,愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学,03887367,刈谷 : 愛知教育大学,1993-02,,42,p83-90,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360342640128,