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坂口 直志 and 東藤 勇,Cu-Zr合金のSi-LSI配線材料への適応,釧路工業高等専門学校紀要 = Research reports Kushiro National College of Technology,0455017X,釧路 : 釧路工業高等専門学校,1994-12,,28,p57-60,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360380944768,