著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Jean-Christophe Eloy and 小野沢 隆,MEMS産業の現状--MEMSの進化・市場・産業インフラ,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2007-11,46,11,25-30,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573329728875776,