著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
平田 豊明,ミラートロンスパッタによるDC反応性スパッタSiO2膜の作製,コンバーテック,09112316,東京 : 加工技術研究会,2000-06,28,6,36-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573329813200768,