著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
脇山 茂,"先端技術を支える 分析・解析・計測技術(No.4)プローブ顕微鏡""AFM5500M""による微小領域の三次元形状計測",工業材料 = Engineering materials,04522834,東京 : 日刊工業新聞社,2017-03,65,3,76-82,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573329837190144,