著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宇都野 太,反応性スパッタリングによるMo-Si-O薄膜の合成,旭硝子財団研究報告,09167064,東京 : 旭硝子財団,1991,,58,p35-40,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573330246546304,