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MEMS共振ミラー「エコスキャン」
Bibliographic Information
- Other Title
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- MEMS キョウシン ミラー エコ スキャン
- 特集 新機能LSIを生み出す集積化MEMS
- トクシュウ シン キノウ LSI オ ウミダス シュウセキカ MEMS
- Published
- 2004-11
- Publisher
- 東京 : 工業調査会
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Journal
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- 電子材料
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電子材料 43 (11), 40-45, 2004-11
東京 : 工業調査会
- Tweet
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520573330520768768
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- NII Article ID
- 40006473062
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- NII Book ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL BIB ID
- 7135262
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL Search
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