著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
湯之上 隆,半導体業界 日本半導体/製造装置メーカーの共進化/共退化現象(3)ドライエッチング制覇を狙うLam Etch/Ashの連続処理を可能に,Electronic journal,,東京 : 電子ジャーナル,2009-09,,186,44-47,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573330661588352,