著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
三浦 祥紀,3″φ高均一GaAsエピタキシャルウエハーの開発,住友電気,05625815,大阪 : 住友電気工業,1987-03,,130,p84-88,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573330790111104,