著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
黒沢 和芳 and 水野 和康 and 川本 直樹,イオンスパッタリング法による窒化ほう素皮膜の生成,愛知県工業技術センター報告,0286262X,刈谷 : 愛知県工業技術センター,1995-11,,31,17-20,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573330790496768,