Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) 山本 友繁 and 山崎 吉夫 and 森川 誠,次世代流体計測技術TIDASの開発,azbil technical review = azbilテクニカルレビュー : 山武グループ技術研究報告書,18819699,東京 : 山武経営企画部,2006-12,,48,38-45,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573330852448896,