著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山本 克彦 and 寺崎 正 and 富田 雅之,フラッシュトンネル絶縁膜対応プラズマ窒化技術の開発,日立国際電気技報,13465953,羽村 : 日立国際電気,2008,,9,6-10,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573331115585408,