Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
渡辺 健二 and 杉本 有俊,プロセス評価装置・集束イオンビーム装置,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2000-11,[39],-,170-175,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573331134247552,