著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
福田 匠,プラズマCVD法にて成膜されるDLC膜の付き回り性に関する検討,山口県産業技術センター研究報告 = Report of Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute,1345210X,宇部 : 山口県産業技術センター,2019-11,,31,16-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520573331228214144,