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福江 紘幸 and 岡野 忠之 and 黒岩 雅英 and 國次 真輔 and 太田 裕己 and 米澤 健 and 中谷 達行,高周波-大電力パルススパッタリング法を用いたDLC成膜における放電特性と薄膜特性の関係,フロンティア理工学研究所研究報告 = The bulletin of Research Institute of Frontier Science and Technology,24353329,岡山 : 岡山理科大学フロンティア理工学研究所,2021-12,,3,9-12,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520574570170027648,