Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
井内 裕,イオン注入装置の変遷と今後について,日新電機技報 = The Nissin electric review : 日新電機グループ技術論文誌,05495377,京都 : 日新電機生産技術本部知的財産部,2022,67,2,43-48,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520576302804952448,