著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
畔上 達紀 and 寺島 潤一 and 小松 豊 and 古畑 肇 and 明渡 純,エアロゾルデポジション法を用いた炭化ケイ素成膜の検討,長野県工業技術総合センター研究報告,18813119,長野 : 長野県工業技術総合センター,2022,,17,1-5,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520576601777990400,