著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
関口 淳,EUVレジストの評価技術,Material stage,13463926,東京 : 技術情報協会,2023-02,22,11,51-58,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520576889030138880,