著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,半導体用ケミカルスの市場動向,ファインケミカル : 調査・資料・報道・抄録,09136150,東京 : シーエムシー出版,2023-02,52,2,37-51,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520577215747841024,