著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
西尾 賢哉,教えて!社会人ライフ!!(第17回)ソニーセミコンダクタソリューションズ(株),SEAJ journal : 会報,13420224,東京 : 日本半導体製造装置協会,2023-05,,181,18-20,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520577995336701184,