著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
和島 英樹,レーザーテック、三井化学、野村マイクロ 「次世代EUV」の超絶技術,週刊ダイヤモンド = Diamond weekly,,東京 : ダイヤモンド社,2024-02-24,112,7,70,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520580793854666880,