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KrFエキシマレーザ照射による多結晶ダイヤモンド膜の表面平滑化
Bibliographic Information
- Other Title
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- KrF エキシマレーザ ショウシャ ニ ヨル タケッショウ ダイヤモンドマク ノ ヒョウメン ヘイカツカ
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Journal
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- New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編
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New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編 40 (3), 34-36, 2024-07
東京 : ニューダイヤモンドフォーラム
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520582850015019008
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- NII Book ID
- AN1020856X
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- ISSN
- 13404792
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- NDL BIB ID
- 033664391
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- Data Source
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- NDL Search