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加藤 友規 and 原田 元気 and 西山 和樹,法政大学 理工学部 機械工学科 フルードパワー生産システム研究室 電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置のバランスシリンダ内圧の並列圧力制御 : 超精密ステージ内圧のフィードフォワード制御,油空圧技術,09146253,東京 : 日本工業出版,2024-09,63,10,115-117,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520583259166070784,