対向回転放物面鏡投影露光リソグラフィによる任意緩曲面への大パターン形成

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  • タイコウ カイテン ホウブツメンキョウ トウエイ ロコウ リソグラフィ ニ ヨル ニンイカンキョクメン エ ノ ダイ パターン ケイセイ
  • Replication of Rough Patterns on Arbitrarily but Gently Curved Surfaces by Projection Lithography Using a Pair of Faced Paraboloid Mirrors
Published
2024-11
Publisher
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan

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