著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
岩崎 順哉 and 小林 宏史 and 堀内 敏行,対向回転放物面鏡投影露光リソグラフィによる任意緩曲面への大パターン形成,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2024-11,41,,6p,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520586676332826752,