Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
,特集 マイクロ加工および支援技術,"電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines",13418939,東京 : 電気学会,2010-08,130,8,343-377,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832043946368,