著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
寒川 誠二,招待論文 プラズマエッチングプロセスの課題と今後の展開--プラズマエッチング高精度化へのチャレンジ,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2000-10-19,100,373,1-8,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832065794048,