著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
河合 雅利,半導体製造工場の空気清浄装置,設計工学 = Journal of Japan Society for Design Engineering : 日本設計工学会誌,09192948,東京 : 日本設計工学会,1996-07,31,7,249-252,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832098834048,