著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
谷口 淳 and 宮本 岩男 and 古室 昌徳,解説 圧力印加による新半導体リソグラフィー技術,圧力技術,03870154,東京 : 日本高圧力技術協会,2002,40,3,150-155,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832118106752,