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宮澤 哲史 and 大河 正志 and 佐藤 孝,シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の有限要素法解析 : 導波路位置依存性及びダイヤフラム厚依存性,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2015-10,32,,1-4,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832178150912,