著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
谷 クン and 根本 剛直 and Ara Philipossian,Investigation of novel end-point detection for Ta/Cu CMP,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2008-10,108,236,7-11,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832192137728,