著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
石川 健治 and 小林 明子 and 盧 翌 and 竹田 圭吾 and 近藤 博基 and 関根 誠 and 堀 勝,ラジカル支援原子層制御ナノプロセス,化学工学 = Chemical engineering of Japan,03759253,東京 : 化学工学会,2016-07,80,7,424-427,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832333052800,