プレベークしたポジ型ホトレジストの表面層の変化
書誌事項
- タイトル別名
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- プレベークシタ ポジガタ ホトレジスト ノ ヒョウメンソウ ノ ヘンカ
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説明
記事分類: 化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業--構造・物性 ; 印写工学
収録刊行物
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- 高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology
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高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology 47 (7), p619-621, 1990-07
東京 : 高分子学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832408402560
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- NII論文ID
- 40003989514
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- NII書誌ID
- AN00085011
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- ISSN
- 03862186
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- NDL書誌ID
- 3680457
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles