著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
作原 寿彦,走査型顕微鏡技術(SPM)を用いた微細加工,SUT bulletin,02897016,東京 : 東京理科大学,1999-08,16,8,14-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832426200192,