Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
Kei Hayashi and Hirosuke Takayama and Masao Ishikawa,TOF-RBS with medium energy heavy ion probe for semiconductor process analysis,大阪大学極限科学研究センター報告書 = Report Kyokugen,13442546,豊中 : 大阪大学極限科学研究センター,2003,,8,74-77,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832585555328,