著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
矢田 秀雄 and 春日 博文,シリコン基板メニスカス面におけるマランゴニ力に関する考察--基板上のパーティクル除去と付着に及ぼすマランゴニ力の影響,日本機械学会論文集. B編,03875016,東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010,2004-07,70,695,1651-1656,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520853832601984512,